Epitaxie

Etymologiquement, “épi” signifie “sur” et “taxis”, “arrangement”, l’épitaxie est donc une méthode d’arrangement sur un support. L’épitaxie est une étape technologique consistant à faire croître du cristal sur du cristal. On utilise le substrat comme germe cristallin de croissance et on fait croître la couche par un apport d’éléments constituant la nouvelle couche. La couche épitaxiée peut être dopée ou non dopée.

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